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自動供酸系統供液系統內可同時放置多個化學品桶，各個桶之間可自動切換。該系統具有排除氣泡和降低管道內壓力波動的能力。該系統可實現清洗設備化學液的自動供液，減少人員接觸化學品的幾率，提高換液速率。自動供酸

自動供液系統供液系統內可同時放置多個化學品桶，各個桶之間可自動切換。該系統具有排除氣泡和降低管道內壓力波動的能力。該系統可實現清洗設備化學液的自動供液，減少人員接觸化學品的幾率，提高換液速率。自動供液

多晶硅硅料烘干設備該設備主要用于5-50mm不規則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干設備

全自動硅料烘干機該設備主要用于5-50mm不規則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。全自動硅料烘干機

多晶硅硅料烘干機該設備主要用于5-50mm不規則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干機

多晶硅磁環清洗設備該設備主要用于多晶硅生產中的配套磁環的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水

全自動磁環清洗機該設備主要用于多晶硅生產中的配套磁環的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅磁環清洗機該設備主要用于多晶硅生產中的配套磁環的清洗。采用機械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅硅芯清洗設備該設備主要用于硅芯、母料、區熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面

全自動硅芯清洗機該設備主要用于硅芯、母料、區熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

多晶硅硅芯清洗機該設備主要用于硅芯、母料、區熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

全自動硅料清洗機該設備主要用于20-150mm不規則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅料清洗機該設備主要用于20-150mm不規則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

全自動硅塊清洗機該設備主要用于20-150mm不規則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅塊清洗機該設備主要用于20-150mm不規則多晶硅塊狀料的清洗。采用機械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工