電子氣體是指用于半導(dǎo)體及相關(guān)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體，應(yīng)用范圍十分廣泛。按其本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按在集成電路中不同應(yīng)用途徑可分為摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入氣、發(fā)光二極管用氣、刻蝕用氣體、化學(xué)氣相沉積氣和平衡氣。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有超過(guò)30種。1）集成電路領(lǐng)域：電子特種氣體涉及集成電路制造多個(gè)環(huán)節(jié)，對(duì)終產(chǎn)品質(zhì)量和性能影響重大。電子氣體在多個(gè)集成電路制造環(huán)節(jié)具有重要作用，尤其在半導(dǎo)體薄膜沉積環(huán)節(jié)發(fā)揮不可取代的作用，是形成薄膜的主要原材料之一。2）LCD領(lǐng)域：特種氣體在LCD行業(yè)中主要應(yīng)用于成膜和干刻工藝。液晶顯示器分類種類眾多，其中TFT-LCD的反應(yīng)時(shí)間快、成像質(zhì)量高、且成本逐漸降低，是目前應(yīng)用較廣泛的LCD技術(shù)。TFT-LCD面板的制造過(guò)程可分為三大階段：前段陣列工(Array)、中段成盒工序(Cell)以及后段模塊組裝工序(Module)。電子特氣主要應(yīng)用于前段陣列工序的成膜和干刻階段，經(jīng)過(guò)多次成膜工藝分別在基板上沉積SiNx非金屬膜以及柵極、源極、漏極和ITO等金屬膜。3）LED領(lǐng)

電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。

廣義的“電子氣體”指電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一，狹義的“電子氣體”特制半導(dǎo)體行業(yè)用的氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝，被稱為半導(dǎo)體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。半導(dǎo)體、平面顯示和太陽(yáng)能光伏等器件的性能好壞與電子氣體的質(zhì)量息息相關(guān)。電子氣體的分類及應(yīng)用電子氣體種類繁多，在電子產(chǎn)品制作工藝中應(yīng)用廣泛。目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣有80多種。電子氣體可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻等工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。