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武漢嘉儀通科技有限公司

  • 聯(lián)系人:張維
  • 官網(wǎng)地址:www.jouleyacht.com.cn
  • 經(jīng)營模式:制造商
  • 主營產(chǎn)品:快速退火爐,液氮低溫恒溫器,霍爾效應測試儀,薄膜熱導率測試,薄膜熱電性能測試
  • 所在地:武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號
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武漢快速退火爐的使用注意事項有哪些?

發(fā)布時間:2022-10-14

快速退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的 效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜 ,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶 圓襯底。它可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。它是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完 成的。它是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調(diào)質(zhì)爐,主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火;表面淬火件回 火;焊件應力退火、時效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環(huán)。它是一種新型換 熱設備。

快速退火爐能夠細化晶粒,改善組織,提高工件的力學性能。

武漢嘉儀通科技有限公司依托科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析,為全球用戶的薄膜技術(shù)研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。

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