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固態的微波源使用強制氣冷的冷卻系統，功率覆蓋100W-1000W，常見的為915MHZ的微波源和2.45Ghz微波源。使用的高頻晶體管和固態微波技術，固態微波源擁有卓越的性能。固態微波源智能微波系統與動態頻率調整功能相結合，使900 -930 MHz (2400 to 2480 MHz)范圍內的反向功率比最小化。與其它系統不同的是，固態微波源是根據客戶的需要來控制輸出平率，設定值為1MHZ分辨率。